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微焦點X射線源：與常規的 X 射線管相比，樣品能夠被放置 在離焦點很近的位置，直接獲得高的幾何放大倍數，微焦點射線源的焦點尺寸更小，可以達到微米級別，在高幾 何放大倍數下，將圖像幾何不清晰度降至很低，以實現高達微米級的分辨率。

FineTec微焦點X射線源：FineTec 開放式微焦點 X 射線管是一種全金屬材質的單極 X 射線管。與常規的 X 射線管相比，樣品能夠被放置 在離焦點很近的位置，直接獲得高的幾何放大倍數，微焦點射線源的焦點尺寸更小，可以達到微米級別，在高幾 何放大倍數下，將圖像幾何不清晰度降至很低，以實現高達微米級的分辨率。